| 发明名称 |
SURFACE INSPECTION METHOD AND DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0989802(A) |
申请公布日期 |
1997.04.04 |
| 申请号 |
JP19950251313 |
申请日期 |
1995.09.28 |
| 申请人 |
NISSHIN STEEL CO LTD |
发明人 |
SHIOYA KENICHIRO;YOSHIZU TOSHIYUKI;FUJII TADASHI;YAMAMOTO AKIO |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B11/30;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892;(IPC1-7):G01N21/89 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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