| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND FABRICATION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0992740(A) |
申请公布日期 |
1997.04.04 |
| 申请号 |
JP19950244212 |
申请日期 |
1995.09.22 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SATO KAZUE;KIKUSHIMA KENICHI |
| 分类号 |
H01L21/8249;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/824 |
主分类号 |
H01L21/8249 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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