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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0992787(A)
申请公布日期
1997.04.04
申请号
JP19950250616
申请日期
1995.09.28
申请人
NEC YAMAGUCHI LTD
发明人
SHIMIZU HIROFUMI
分类号
G01R31/28;G01R31/3185;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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