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发明名称 HEATER DEVICE FOR BONDING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0982734(A) 申请公布日期 1997.03.28
申请号 JP19950263492 申请日期 1995.09.18
申请人 SHINKAWA LTD 发明人 ARAI HISASHI;MORIYA SHINJI
分类号 H01L21/52;B23K3/08;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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