发明名称 MANUFACTURE OF POLYSILICON GATE FOR MOS TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH0982946(A) 申请公布日期 1997.03.28
申请号 JP19950262466 申请日期 1995.09.14
申请人 RICOH CO LTD 发明人 KATO SEIICHI
分类号 H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址