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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0982793(A) 申请公布日期 1997.03.28
申请号 JP19950231715 申请日期 1995.09.08
申请人 NEC CORP 发明人 SERA YOSHIAKI
分类号 H01L21/76;H01L21/265;H01L21/762;H01L27/08;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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