发明名称 Field effect transistor with a self aligned gate
摘要
申请公布号 GB2304997(A) 申请公布日期 1997.03.26
申请号 GB19960013996 申请日期 1996.07.04
申请人 * MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 TAKAYUKI * HISAKA;KENJI * HOSOGI;NAOHITO * YOSHIDA
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/338;H01L29/08;H01L29/423;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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