| 发明名称 |
Method of forming insulating films, capacitances, and semiconductor devices |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0468758(B1) |
申请公布日期 |
1997.03.26 |
| 申请号 |
EP19910306729 |
申请日期 |
1991.07.24 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. |
发明人 |
YAMAZAKI, SHUNPEI |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/06;C23C14/08;H01L21/28;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L29/51;(IPC1-7):C23C14/08 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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