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发明名称
HARD CARBON FILM FORMING DEVICE AND PRODUCTION OF HARD CARBON FILM FORMING SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH0978240(A)
申请公布日期
1997.03.25
申请号
JP19950233562
申请日期
1995.09.12
申请人
SHIN ETSU CHEM CO LTD
发明人
IIDA TAMAKI
分类号
C23C16/26;C23C16/50;C23C16/511;(IPC1-7):C23C16/26
主分类号
C23C16/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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