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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR FORMING COATING FILM
摘要
申请公布号 JPH0975823(A) 申请公布日期 1997.03.25
申请号 JP19950241119 申请日期 1995.09.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MATSUDA NAOKO;NAKA HIROYUKI;KANBARA MOTOAKI;HIROTA OSAMU;KANEJIMA KEINOSUKE;OGURA HIROSHI
分类号 G03F7/16;B05C5/00;B05C11/10;H01L21/027;(IPC1-7):B05C5/00 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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