发明名称 METHOD FOR CLEANING OXIDE FILMS FROM CARBON- CONTAINING IMPURITIES
摘要
申请公布号 RU1447182(C) 申请公布日期 1997.03.20
申请号 SU19864075957 申请日期 1986.05.15
申请人 NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT KHIMII PRI GORKOVSKOM GOSUDARSTVENNOM UNIVERSITETE IM.N.I.LOBACHEVSKOGO 发明人 ALEKSANDROV YU.A.;SELIVERSTOV N.N.
分类号 H01G4/10;(IPC1-7):H01G4/10 主分类号 H01G4/10
代理机构 代理人
主权项
地址