发明名称 DISPLAY OF CROSS-SECTIONAL STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0974084(A) 申请公布日期 1997.03.18
申请号 JP19950226409 申请日期 1995.09.04
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 TAZAWA SATOSHI
分类号 H01L21/302;G06F17/50;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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