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发明名称 SCANNING TYPE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0972925(A) 申请公布日期 1997.03.18
申请号 JP19950228252 申请日期 1995.09.05
申请人 NIKON CORP 发明人 YAMAMOTO TAKUMA;SUGIMURA HIROYUKI;NAKAGIRI NOBUYUKI
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q30/04;G01Q60/28;G01Q90/00;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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