发明名称 SYSTEM FOR PRODUCING 3-DIMENSIONAL PHOTON CRYSTALS
摘要 <p>Die erfindungsgemäße Lösung beinhaltet ein Verfahren, das auf eine kostengünstige und gegenüber den bisherigen Verfahren weniger aufwendige Erzeugung von photonischen Bauelementen ausgerichtet ist, die auf ihrer Substratoberfläche ein Vielzahl von in Abständen angeordneten photonischen Elementen aufweisen. Erfindungsgemäß wird auf ein Substrat ein polymerisierbares Quellmaterial, vorzugsweise mittels Dampfdruckes, aufgebracht. In einem zweiten Verfahrensschritt wird das Quellmaterial an exponierten Stellen der Oberfläche des Trägermaterials der Einwirkung eines Strahls geladener Teilchen ausgesetzt. An diesen Stellen erfolgt eine Umwandlung in feste Substanzen, die in ihrem Brechungsindex und Höhenprofil die optische Wirkung von Photonen-Kristallen haben. Mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens lassen sich Photonen-Kristalle mit verbesserten Eigenschaften und insbesondere in miniaturisierter Form herstellen.</p>
申请公布号 WO1997009643(A2) 申请公布日期 1997.03.13
申请号 DE1996001581 申请日期 1996.08.24
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利