摘要 |
<p>Die erfindungsgemäße Lösung beinhaltet ein Verfahren, das auf eine kostengünstige und gegenüber den bisherigen Verfahren weniger aufwendige Erzeugung von photonischen Bauelementen ausgerichtet ist, die auf ihrer Substratoberfläche ein Vielzahl von in Abständen angeordneten photonischen Elementen aufweisen. Erfindungsgemäß wird auf ein Substrat ein polymerisierbares Quellmaterial, vorzugsweise mittels Dampfdruckes, aufgebracht. In einem zweiten Verfahrensschritt wird das Quellmaterial an exponierten Stellen der Oberfläche des Trägermaterials der Einwirkung eines Strahls geladener Teilchen ausgesetzt. An diesen Stellen erfolgt eine Umwandlung in feste Substanzen, die in ihrem Brechungsindex und Höhenprofil die optische Wirkung von Photonen-Kristallen haben. Mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens lassen sich Photonen-Kristalle mit verbesserten Eigenschaften und insbesondere in miniaturisierter Form herstellen.</p> |