| 发明名称 |
PROJECTION OPTICAL SYSTEM AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE THEREBY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0969491(A) |
申请公布日期 |
1997.03.11 |
| 申请号 |
JP19950248714 |
申请日期 |
1995.08.31 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SUZUKI MASAYUKI;SUDA SHIGEYUKI |
| 分类号 |
G03B27/32;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03B27/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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