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发明名称 ION GUN
摘要
申请公布号 JPH0963492(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950209596 申请日期 1995.08.17
申请人 KAO CORP 发明人 YOSHIDA OSAMU;KITAORI NORIYUKI;SASAKI KATSUMI;ISHIKAWA JUNKO
分类号 C23C14/48;H01J27/08;H01J37/08;H01J37/317;(IPC1-7):H01J27/08 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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