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发明名称
RESIST APPLYING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0962010(A)
申请公布日期
1997.03.07
申请号
JP19950215933
申请日期
1995.08.24
申请人
HITACHI LTD;HITACHI DEVICE ENG CO LTD;FUJI PHOTO FILM CO LTD
发明人
SHIBA MITSUAKI;NAMIKI JUNICHI;SASAKI HARUO;TSUBOKA TOMOAKI;KANESAKA KAZUMI;YAO YASUYOSHI;EMOTO TATSUYA;KUMAGAI HIROFUMI;MATSUMOTO KENJI
分类号
G03F7/16;B05C11/02;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/16
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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