发明名称 BONDING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0964119(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950233380 申请日期 1995.08.18
申请人 SHIBUYA KOGYO CO LTD 发明人 TERADA TORU;TAKAGI HIROYUKI;NAKAJIMA TAKEO
分类号 H01L21/60;H01L21/603;(IPC1-7):H01L21/603 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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