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发明名称 JOINED WAFER AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0963910(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950245471 申请日期 1995.08.29
申请人 MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP;MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 MORITA ETSURO;KAWAI YUKIO;ISHIGAMI SHUNICHIRO;ENDO MITSUHIRO
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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