发明名称 CLEANING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0964007(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950217233 申请日期 1995.08.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ONISHI TERUTO
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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