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发明名称 Trockenätzverfahren
摘要
申请公布号 DE68927699(D1) 申请公布日期 1997.03.06
申请号 DE1989627699 申请日期 1989.10.13
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OKUDAIRA, SADAYUKI, OME-SHI TOKYO, JP;KAWAKAMI, HIROSHI, HACHIOJI-SHI TOKYO, JP;KURE, TOKUO, NISHITAMA-GUN TOKYO, JP;TSUJIMOTO, KAZUNORI, HIGASHIYAMATO-SHI TOKYO, JP;TACHI, SHINICHI, SAYAMA-SHI SAITAMA, JP
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/321;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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