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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Schaltelementes
摘要
申请公布号 DE19538128(C1) 申请公布日期 1997.02.27
申请号 DE19951038128 申请日期 1995.10.13
申请人 LUEDER, ERNST, PROF. DR.-ING.HABIL., 70192 STUTTGART, DE 发明人 KLETTE, RUEDIGER, DIPL.-ING., 70806 KORNWESTHEIM, DE;MARESCH, STEFAN, DIPL.-ING., 73728 ESSLINGEN, DE;LUEDER, ERNST, PROF. DR.-ING. HABIL., 70192 STUTTGART, DE
分类号 H01L45/00;(IPC1-7):H01L45/00;G09F9/35;G09G3/36 主分类号 H01L45/00
代理机构 代理人
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