| 发明名称 |
SILICON CARBIDE THIN FILM AND PRODUCTION OF SILICON CARBIDE THIN FILM LAMINATED SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0952797(A) |
申请公布日期 |
1997.02.25 |
| 申请号 |
JP19950229678 |
申请日期 |
1995.08.11 |
| 申请人 |
HOYA CORP |
发明人 |
MITSUI HIDEAKI;NAGASAWA HIROYUKI;YAMAGUCHI YOICHI |
| 分类号 |
C30B25/14;C23C16/42;C23C16/56;C30B29/36;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/36 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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