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发明名称 PLASMA TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0955372(A) 申请公布日期 1997.02.25
申请号 JP19950227349 申请日期 1995.08.11
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 INOUE HIROYUKI
分类号 H05H1/46;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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