| 申请人 |
MICROPARTS GESELLSCHAFT FUER MIKROSTRUKTURTECHNIK MBH, 44227 DORTMUND, DE |
发明人 |
UENAL, NEZIH, DIPL.-ING., 44227 DORTMUND, DE;PANNHOFF, HELGE, DIPL.-ING., 20535 HAMBURG, DE;LANDWEHR, DIERK, DIPL.-ING. DR., 48249 DUELMEN, DE;DUERSELEN, LOTHAR E., DIPL.-ING., 40723 HILDEN, DE |
