| 摘要 |
<p>La présente invention concerne un procédé et un équipement de spectroscopie par fluorescence aux rayons X à réflexion totale, qui facilitent l'analyse d'un échantillon présentant des irrégularités de surface. Des rayons X primaires sont émis sous plusieurs angles pour irradier un échantillon normalisé à la surface lisse, et le spectre X caractéristique est mesuré pour chaque angle afin de déterminer l'intensité caractéristique des rayons X et l'intensité des rayons X diffusés. On obtient un coefficient de calibrage, sous la forme d'une fonction de l'intensité des rayons X diffusés, en divisant la quantité d'un élément connu de l'échantillon normalisé par l'intensité caractéristique des rayons X. Un objet dont la surface présente des irrégularités est irradié avec des rayons X primaires sous un angle de référence inférieur à un angle critique de réflexion totale, pour mesurer un spectre X caractéristique, et l'intensité des rayons X caractéristique de l'élément analysé et l'intensité de ses rayons X diffusés sont calculées à partir du spectre ainsi mesuré. Un coefficient de calibrage à appliquer à l'échantillon mesuré est déterminé sur la base de l'intensité des rayons X diffusés ainsi obtenue, et la quantité de l'élément analysé se calcule en multipliant le coefficient de calibrage par l'intensité caractéristique des rayons X de l'élément analysé.</p> |
