发明名称 VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0949080(A) 申请公布日期 1997.02.18
申请号 JP19950204440 申请日期 1995.08.10
申请人 TORAY IND INC 发明人 NISHIDA TAKANORI;YASUDA TOSHIO;YOSHIMURA YUJI
分类号 C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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