| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR LAYER STRUCTURE AND ITS PRODUCTION AND SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0950058(A) |
申请公布日期 |
1997.02.18 |
| 申请号 |
JP19950202010 |
申请日期 |
1995.08.08 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OKUNO YAE;INOUE HIROAKI;UOMI KAZUHISA;KONDO MASAHIKO |
| 分类号 |
G02F1/37;H01L21/02;H01L21/205;H01S5/00;(IPC1-7):G02F1/37;H01S3/18 |
主分类号 |
G02F1/37 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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