发明名称 FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0950992(A) 申请公布日期 1997.02.18
申请号 JP19950200058 申请日期 1995.08.04
申请人 SHARP CORP 发明人 OKAMOTO TETSUYA
分类号 C23C14/34;C23C16/02;C23C16/50;C23C16/505;C23C16/511;C23C16/54;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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