| 发明名称 |
BEAM FACING PLATE FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0950969(A) |
申请公布日期 |
1997.02.18 |
| 申请号 |
JP19950199659 |
申请日期 |
1995.08.04 |
| 申请人 |
HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
KIKUCHI YOSHIHIRO;SUZUKI TAKAYUKI;HYAKKI YASUO;NAKAYAMA KENICHI |
| 分类号 |
H01J37/09;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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