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发明名称 MANUFACTURE OF STIFF, FLOATING MINUTE-STRUCTURE ELEMENT AND DEVICE HAVING ELEMENT THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0943061(A) 申请公布日期 1997.02.14
申请号 JP19960182440 申请日期 1996.07.11
申请人 COMMISS ENERG ATOM 发明人 MISHIERU BUIREN
分类号 G01J5/20;B81B3/00;F15C5/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L49/00;(IPC1-7):G01J5/20;H01L21/306 主分类号 G01J5/20
代理机构 代理人
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