发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0945686(A) 申请公布日期 1997.02.14
申请号 JP19950198362 申请日期 1995.08.03
申请人 HITACHI LTD;HITACHI INSTR ENG CO LTD;HITACHI HOKKAI SEMICONDUCTOR LTD 发明人 KANEKO YOSHIYUKI;FUJIOKA YASUHIDE;WATABE KOZO;KASAMA YASUHIRO
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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