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发明名称
TEST DEVICE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0943305(A)
申请公布日期
1997.02.14
申请号
JP19950209939
申请日期
1995.07.26
申请人
NEC CORP
发明人
FUKUI HIROKI
分类号
G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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