| 发明名称 |
SILICON WAFER HEATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0943117(A) |
申请公布日期 |
1997.02.14 |
| 申请号 |
JP19950195430 |
申请日期 |
1995.07.31 |
| 申请人 |
TAISEI CORP |
发明人 |
KOBAYASHI SADAO;WAKAYAMA YOSHIHIDE;IMAFUKU MASAYUKI |
| 分类号 |
G01N27/62;G01N1/00;G01N1/22;G01N1/28;G01N30/04;G01N30/88;H01L21/324;H01L21/66;(IPC1-7):G01N1/22 |
主分类号 |
G01N27/62 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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