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发明名称 PULSED ION BEAM ASSISTED DEPOSITION
摘要
申请公布号 EP0757598(A1) 申请公布日期 1997.02.12
申请号 EP19960906197 申请日期 1996.01.23
申请人 SANDIA CORPORATION 发明人 STINNETT, REGAN, W.
分类号 B23K15/00;C23C14/22;C23C14/58;C23C26/02;H01J27/14;H01J37/317;H01L21/203;(IPC1-7):B05C11/00;B05B1/32;B05B3/02;B05B3/06;C08F2/46;C23C8/00;C23C14/00;C23C16/00;H05H1/00;H05H1/24 主分类号 B23K15/00
代理机构 代理人
主权项
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