发明名称 SUBSTRATE CUTTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0938961(A) 申请公布日期 1997.02.10
申请号 JP19950193006 申请日期 1995.07.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMAZAKI HISAO
分类号 B28D5/02;(IPC1-7):B28D5/02 主分类号 B28D5/02
代理机构 代理人
主权项
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