发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0936334(A) 申请公布日期 1997.02.07
申请号 JP19950209021 申请日期 1995.07.25
申请人 SONY CORP 发明人 TERAMOTO SHIGEKI
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;(IPC1-7):H01L27/115 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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