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<P>Procédé et dispositif de surveillance in situ et en temps réel de la morphologie d'une zone localisée 2a, 29 lors de la gravure de la couche superficielle 26, 26a d'une structure à couches minces 2, la structure à couches minces étant enfermée dans une chambre de traitement sous vide qui comporte une fenêtre sur sa paroi supérieure. Le procédé consiste à envoyer un faisceau lumineux d'éclairage sur la zone localisée, à envoyer le faisceau lumineux réfléchi par la zone localisée vers le capteur matriciel 15 d'une caméra vidéo 12 à travers un filtre 23 et vers un disperseur optique ou un filtre interférentiel à travers respectivement, et successivement un diaphragme de sélection 22a, un câble de fibres optiques 6 et une fente d'analyse 30 à l'entrée du disperseur optique ou du filtre interférentiel et à effectuer une analyse spectrale du faisceau lumineux réfléchi en vue de détecter le passage de la couche suivante, lors de la gravure, par réflectométrie dans une zone spécifique d'analyse 29 faisant partie de la zone localisée 2a.</P>
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