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发明名称 SIMULATION APPARATUS AND SIMULATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH0936351(A) 申请公布日期 1997.02.07
申请号 JP19950181262 申请日期 1995.07.18
申请人 SONY CORP 发明人 IMANAGA TOSHIHARU
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/00;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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