发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0936222(A) 申请公布日期 1997.02.07
申请号 JP19950182783 申请日期 1995.07.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAMURA ITARU;HOSODA YUKIO
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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