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发明名称 MANUFACTURE OF THIN-FILM SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0936375(A) 申请公布日期 1997.02.07
申请号 JP19950206583 申请日期 1995.07.19
申请人 SONY CORP 发明人 KUKI MIDORI;FUJINO MASAHIRO
分类号 H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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