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发明名称 Halbleiterbearbeitungsverfahren zur Herstellung integrierter Speicherschaltungen mit Stapelkondensatoren
摘要
申请公布号 DE4238827(C2) 申请公布日期 1997.02.06
申请号 DE19924238827 申请日期 1992.11.17
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC., BOISE, ID., US 发明人 RHODES, HOWARD E., BOISE, ID., US;LOWREY, TYLER A., BOISE, ID., US
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/74;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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