发明名称 Interferometeranordnung zur absoluten Distanzmessung
摘要
申请公布号 DE19528676(A1) 申请公布日期 1997.02.06
申请号 DE1995128676 申请日期 1995.08.04
申请人 CARL ZEISS JENA GMBH, 07745 JENA, DE 发明人 FUCHS, WERNER, DR.-ING.HABIL., 07751 COSPEDA, DE;SALEWSKI, KLAUS DIETER, DR.RER.NAT., 17489 GREIFSWALD, DE;WOLFRAM, ANDREAS, DIPL.-PHYS., 17495 KARLSBURG, DE;BECHSTEIN, KARL-HEINZ, DIPL.-PHYS., 07749 JENA, DE
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02;G01J9/04;G01B11/00 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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