| 发明名称 |
Gas phase cleaning agents for removing metal- containing contaminants from integrated circuit assemblies and a process for using the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG34999(A1) |
申请公布日期 |
1997.02.01 |
| 申请号 |
SG19950000912 |
申请日期 |
1993.11.24 |
| 申请人 |
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. |
发明人 |
GEORGE MARK ALLEN;BOHLING DAVID ARTHUR |
| 分类号 |
C11D7/22;H01L21/306;H01L21/3105;(IPC1-7):C11D7/22;H01L21/310 |
主分类号 |
C11D7/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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