INTEGRATED CIRCUIT ARRANGEMENT WITH AT LEAST TWO COMPONENTS INSULATED FROM ONE ANOTHER AND A PROCESS FOR PRODUCING THE SAID CIRCUIT ARRANGEMENT

摘要

Eine integrierte Schaltungsanordnung mit mindestens zwei Bauelementen umfaßt in einem Substrat eine Isolationsstruktur (4', 5) zwischen den Bauelementen, die mindestens eine Flanke eines Grabens (3) bedeckt und die am Grabenboden dicker ist als am Grabenhals. Die Bauelemente sind dabei in verschiedenen Ebenen an der Substratoberfläche und am Grabenboden angeordnet. Die Isolationsstruktur bewirkt eine vertikale Isolation zwischen den Bauelementen.