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发明名称
NACHBEHANDLUNG EINES BESCHICHTETEN SUBSTRATES MIT EINEM ANGEREGTES HALOGEN ENTHALTENDEN GAS FÜR DIE BESEITIGUNG VON RÜCKSTÄNDEN
摘要
申请公布号
DE710161(T1)
申请公布日期
1997.01.30
申请号
DE19940922123T
申请日期
1994.07.12
申请人
FUSION SYSTEMS CORP., ROCKVILLE, MD., US
发明人
SPARKS, EILEEN, R., CLARKSBURG, MD 20871, US;MITCHENER, JAMES, C., DAMASCUS, MD 20872, US;ROUNDS, STUART, N., GERMANTOWN, MD 20874, US;MATTHEWS, JOHN, C., GAITHERSBURG, MD 20871, US
分类号
G03F7/36;B08B3/02;B08B5/00;B08B6/00;C03C17/32;C03C23/00;C23F1/00;C23F1/12;C23F4/00;C23G5/00;G03F7/42;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/311;H05K3/26;(IPC1-7):B08B3/12;B08B7/00;B08B7/02;B08B7/04;C23G1/00;G03C5/00
主分类号
G03F7/36
代理机构
代理人
主权项
地址
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