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发明名称 Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten
摘要
申请公布号 DE19538045(C1) 申请公布日期 1997.01.30
申请号 DE19951038045 申请日期 1995.10.13
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH, 52428 JUELICH, DE 发明人 BOLT, HARALD, PROF.DR.DR., 52428 JUELICH, DE;HEMEL, VOLKER, 52066 AACHEN, DE;KOCH, FREIMUT, 41812 ERKELENZ, DE
分类号 C23C14/32;H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
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