发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0927545(A) 申请公布日期 1997.01.28
申请号 JP19950174925 申请日期 1995.07.11
申请人 SONY CORP 发明人 SASAKI NAOTO
分类号 H01L23/522;H01L21/306;H01L21/316;H01L21/768;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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