发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0927495(A) 申请公布日期 1997.01.28
申请号 JP19950176467 申请日期 1995.07.12
申请人 SONY CORP 发明人 MIYANAGA TAKASHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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