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发明名称
PLASMA ETCHING METHOD FOR LOW-DIELECTRIC CONSTANT SILICON OXIDE INSULATION FILM
摘要
申请公布号
JPH0927472(A)
申请公布日期
1997.01.28
申请号
JP19950177694
申请日期
1995.07.13
申请人
SONY CORP
发明人
YANAGIDA TOSHIHARU
分类号
H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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