发明名称 PLASMA ETCHING METHOD FOR LOW-DIELECTRIC CONSTANT SILICON OXIDE INSULATION FILM
摘要
申请公布号 JPH0927472(A) 申请公布日期 1997.01.28
申请号 JP19950177694 申请日期 1995.07.13
申请人 SONY CORP 发明人 YANAGIDA TOSHIHARU
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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